[发明专利]翻转式晶圆自动传输装置

摘要

一种翻转式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的下手臂通过翻转机构连接抓取机构，抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在翻转基座上，抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，使之能实现晶圆匣在0-90度范围翻转，且随意设定倾斜角度，以完成晶圆水平或垂直状态的自动传输，同时又能适应在制程设备狭小空间作更复杂动作，并在遇到外界干涉时可挠性停止，达到精确控制的传输效果。

主权项

1、一种翻转式晶圆自动传输装置，包括机架，固定在机架上的上料平台，组装在机架上作升降移动的带有扣爪机构的风箱体和作升降、伸展移动的带有抓取机构的手臂机构，其特征在于：所述手臂机构的下手臂通过翻转机构连接所述抓取机构，即所述手臂机构的下手臂与所述翻转机构的翻转基座铰接在一起，所述抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在所述翻转基座上，并利用组装在翻转基座上的齿轮连杆传动机构驱动所述翻转轴转动，带动所述抓取机构固定板绕轴线转动，设置在所述抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿所述抓取机构固定板的抓取滑轨往复移动，所述抓取机构上的定位机构设置可调定位块。