[发明专利]蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法

摘要

蒸汽流真空泵性能自动测量系统及测量方法，属于真空测试技术领域。本发明能够严格按照国家和国际标准中规定的测试原理和方法，自动完成蒸汽流真空泵参数测试。本发明包括测试罩、气体流量测试单元及前级管路气体流量调节单元等；气体流量测试单元包括滴管，在滴管上部的进气口处设置有滴管电磁阀，在滴管的外侧设置有上、下液位开关；测试罩气体流量调节单元、前级管路气体流量调节单元均由步进电机、针式微调阀和高真空电磁阀组成，针式微调阀的驱动旋钮与步进电机相连，针式微调阀的出气口与高真空电磁阀相连；液位开关、滴管电磁阀等与计算机控制单元相连。测量方法包括蒸汽流真空泵极限压力的测量、体积流率的测量和临界前级压力的测量。

主权项

1、一种蒸汽流真空泵性能自动测量系统，包括测试罩(11)、被测蒸汽流真空泵(13)、前级管路(18)、前级机械泵(19)、气体流量测试单元、测试罩气体流量调节单元和前级管路气体流量调节单元；所述的气体流量测试单元通过真空接管(6)与测试罩气体流量调节单元相连，测试罩气体流量调节单元与测试罩(11)的进气嘴(10)相连，被测蒸汽流真空泵(13)与前级管路(18)、前级机械泵(19)依次相连，前级管路气体流量调节单元直接与前级管路(18)相连；所述的气体流量测试单元包括油槽与测量油(1)及滴管(3)，其特征在于，在滴管(3)上部的进气口处设置有滴管电磁阀(5)，在滴管(3)的外侧设置有液位开关；所述的液位开关包括上液位开关(4)和下液位开关(2)，上液位开关(4)和下液位开关(2)分别固定在滴管(3)外侧的设定高度处；所述的测试罩气体流量调节单元和前级管路气体流量调节单元均由步进电机、针式微调阀和高真空电磁阀组成，针式微调阀的驱动旋钮与步进电机相连，针式微调阀的出气口与高真空电磁阀相连；所述的液位开关、滴管电磁阀(5)、步进电机和高真空电磁阀均与计算机控制单元(20)相连，直接与计算机控制单元(20)通讯并为其控制。