[发明专利]一种水溶性硅料切削液的组成和应用组合无效
| 申请号： | 200910013428.9 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101712907A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 姜艳;周全凯 | 申请（专利权）人： | 辽阳科隆化学品有限公司 |
| 主分类号： | C10M145/12 | 分类号： | C10M145/12;C10M153/04;C10M157/10;C10M145/00;B01F17/52;C10N40/22 |
| 代理公司： | 沈阳世纪蓝海专利事务所 21232 | 代理人： | 李永琛 |
| 地址： | 111003 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种水溶性硅料切削液的组成和应用组合。该切削液含有：1)烷氧基聚醚(50.0-95.0％)，2)溶剂(5.0-20.0％)，3)表面活性剂(0.1-2.0％)，4)少量水(0.1-5.0％)和5)其它功能助剂(0.1-1.0％)。该切削液具有无污染、金属杂质含量低的特点。本发明还涉及基于上述成分的切削液的应用组合，应用时根据切削材料的性质选择合适的磨料与之组合，所选择磨料的颗粒大小应控制在0.5-50微米间，磨料与切削液的配合比例控制在30∶100-80∶100。此切削液磨料分散性好，且在沉降后容易再分散。本发明还涉及上述切削液在单晶硅、多晶硅等硬脆性材料加工方面的应用。使用上述切削液，切片出片效率高、成品合格率高，且硅片容易清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水溶性 切削 组成 应用 组合 | ||
【主权项】：
一种水溶性硅料切削液的组成和应用组合，其特征是该切削液由烷氧基聚醚所含比例为50.0-95.0％、溶剂所含比例为5.0-10.0％、表面活性剂所含比例为0.1-2.0％、少量水所含比例为0.1-5.0％和功能助剂所含比例为0.1-1.0％等基本组份组成，各组份所占比例之和小于等于1。
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