[发明专利]一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源

摘要

本发明公开了一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源。它解决了传统自激式射频振荡电路稳定性差以及效率低的问题。电源采用了开关调整器电路，实现了可控的脉冲波对射频信号的调制作用。当该电源应用于大气压等离子体放电时，可以有效地克服大气压等离子体在连续状态下工作的射频源激励易产生的丝状放电以及电极过热问题。同时，电路中引入了由L型滤波器和反Γ型滤波器构成的O型滤波器(射频衰减量达到了30dB以上)，因此脉冲调制的射频波具有良好的传输特性。该电源电路简单，耐冲击性强，具有高功率因数、体积小、运行可靠等优点。

主权项

1.一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源，其特征是，它的电路结构如下：交流输入与采用通用的共差模滤波器组合而成的工频、高频滤波器连接，工频、高频滤波器与工频整流电路连接，将交流电平电整流为直流电平，工频整流电路与自激式高频逆变电源连接，变为稳定的直流电平；该直流电平经过射频滤波器后连接脉冲调整器，脉冲调整器输出可控的脉冲调制信号后控制下一级的自激式射频振荡器，然后通过射频匹配器输出间隙式的射频波并最终与等离子体负载相连；同时自激式射频振荡器还输出取样信号到信号处理器，信号处理器则将该信号反馈到脉冲调整器。