[发明专利]金属离子注入设备内动态水冷系统无效
| 申请号： | 200910015430.X | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101886250A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 王桂岳;赵松强;栾庚祖 | 申请（专利权）人： | 龙口市比特真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 265702 山东省龙口市北*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种用于真空设备内动态状况下冷却的金属离子注入设备内动态水冷系统。其特征是：外套外侧设有进、出水口，通过内套的进、出水孔及进出水管与工件托盘内腔体相连通，又通过串联水管使多个工件托盘相连通。因而具有工件定位准确、束斑范围内注入离子均匀、工件温升小、几何形状稳定，保证工件表面硬度和耐磨性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 离子 注入 设备 动态 水冷 系统 | ||
【主权项】：
一种金属离子注入设备内动态水冷系统，真空室(12)下端外侧依次设有中心转轴装置和侧边驱动装置，中心转轴装置是由轴承支撑的中心转轴(10)、套装于轴上的内套(13)和固定于真空室的外套(14)组成，外套(14)与内套(13)之间设轴承和密封圈(11)；侧边驱动装置是由轴承、固定座(15)支撑的侧边驱动轴(4)和轴上端设有的驱动齿轮(16)组成，轴的下端设有碰头(17)与固定于真空室上的限位开关(18)相配合；驱动齿轮(16)与支撑架(2)支撑的大齿轮环(1)相啮合，大齿轮环(1)圆周上设有多个工件托盘装置；所述的工件托盘装置是由固于大齿轮环(1)圆周上的工件托盘(3)和小传动齿轮(6)组成，工件托盘(3)上设有的小传动齿轮(6)与中心轴上端设有中心齿轮(5)相啮合；其特征是：外套(14)外侧设有进、出水(19、20)，通过内套(13)的进、出水孔及进出水管(7、9)与工件托盘(3)内腔体相连通，又通过串联水管(8)使多个工件托盘(3)相连通。
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