[发明专利]气体输运沉积装置无效
| 申请号： | 200910019686.8 | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101504959A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 王步峰;李青海;王景义 | 申请（专利权）人： | 山东润峰集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南圣达专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张 勇 |
| 地址： | 277600山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体输运沉积装置。它具有结构简单，使用方便，使用寿命长，加热均匀，能有效防止沉积源气体受到污染等优点。其结构为：一个封闭的石墨管式加热器，石墨管式加热器两端分别与气体运输左通道和气体运输右通道连通。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 输运 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种气体输运沉积装置，其特征是，它包括一个封闭的石墨管式加热器，石墨管式加热器两端分别与气体运输左通道和气体运输右通道连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
