[发明专利]一种周期可调微机械光栅及其制作工艺

摘要

本发明公开了一种周期可调微机械光栅及其制作工艺，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该光栅的特征在于，其基底为玻璃、蓝宝石等绝缘透明材料。其制作工艺为：在基底表面淀积一层金属薄膜；在结构材料的一侧刻蚀出一定高度的锚点；两者通过锚点键合在一起，并将结构材料减薄至所需厚度；对结构材料进行刻蚀、释放形成结构层部分，形成光栅。因为该光栅的基底是完全透光的，当入射光入射到光栅上时，一部分反射产生反射式衍射光谱；另一部分通过光栅栅条之间的缝隙到达基底的前表面产生投射，因此能同时工作在反射及透射方式。

主权项

1.一种周期可调微机械光栅，由基底和结构层组成，结构层通过锚点(3)悬置于基底上；结构层为可刻蚀可键合的导电材料，结构层包括若干等距平行的光栅栅条(8)、弹性支撑梁(9)和连接梁(10)，每相邻的两根光栅栅条(8)通过两侧的折叠U形连接梁(10)进行连接，两端的两根光栅栅条(8)通过弹性支撑梁(9)连接到锚点(3)上，驱动器(7)与一端的光栅栅条(8)连接，带动光栅栅条(8)沿着与栅条垂直的方向往复运动；基底上有金属薄膜作为电极及引线，使得驱动器(7)通过金属薄膜与外界连接，从而给驱动器(7)供电，其特征在于：所述的基底为绝缘透明材料。