[发明专利]一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构有效
| 申请号： | 200910021522.9 | 申请日： | 2009-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101509124A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 刁东风;王凯 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710049陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子回旋共振(ECR)等离子体溅射装置，公开了一种能够方便转换粒子源的ECR等离子体溅射装置的腔体结构。它包括：左真空腔(1)、右真空腔(2)和至少两个靶材腔(3、4)，靶材腔(3、4)连接在左真空腔、右真空腔(1、2)之间，靶材腔内(3、4)设置有靶材，其特征在于，相邻靶材腔(3、4)之间设置有垫圈(5)，垫圈(5)的径向设置有传动杆(17)，传动杆(17)的内端设置有齿轮(18)；相邻的靶材腔(3、4)内设置有一个滑动的挡圈(15)，挡圈(15)的外壁的轴向镶嵌有齿条(16)，齿条(16)与所述齿轮(18)啮合；所述垫圈(5)和传动杆(17)之间设置有动密封装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ecr 等离子体 溅射 装置 结构 | ||
【主权项】：
1、一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构，包括：左真空腔(1)、右真空腔(2)和至少两个靶材腔(3、4)，靶材腔(3、4)连接在左真空腔、右真空腔(1、2)之间，靶材腔内(3、4)设置有靶材，其特征在于，相邻靶材腔(3、4)之间设置有垫圈(5)，垫圈(5)的径向设置有传动杆(17)，传动杆(17)的内端设置有齿轮(18)；相邻的靶材腔(3、4)内设置有一个滑动的挡圈(15)，挡圈(15)的外壁的轴向镶嵌有齿条(16)，齿条(16)与所述齿轮(18)啮合；所述垫圈(5)和传动杆(17)之间设置有动密封装置。
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