[发明专利]一种生物医用NiTi合金表面制备类金刚石涂层的方法无效
| 申请号： | 200910021869.3 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101532122A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 马胜利;杭瑞强 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生物医用NiTi合金表面制备类金刚石涂层的方法，该方法包括下列步骤：将预处理好的基体放入电弧增强磁控溅射离子镀膜设备的转架杆上面，采用平面对靶的方式将平面C靶安置在炉体内壁上；通入氩气到真空室，对真空室和预处理好的基体进行清洗；清洗完成后，在基体表面镀Ti基层，完成后制备TiC过渡层；然后在基体表面的TiC过渡层上制备得到类金刚石涂层。该方法制备的类金刚石涂层，硬度达25-30GPa，膜基结合力达到48-60N，抗腐蚀性明显优于NiTi合金，可显著改善生物医用NiTi合金的力学和生物学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生物 医用 niti 合金 表面 制备 金刚石 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1、一种生物医用NiTi合金表面制备类金刚石涂层的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：(1)基体预处理：将基体表面除油、抛光、浸入丙酮中超声波清洗后采用酒精脱水；(2)将预处理好的基体放入电弧增强磁控溅射离子镀膜设备的转架杆(4)上面，转架杆(4)固定在台架(2)上，转架杆(4)随台架(2)转动的同时自转，柱弧Ti靶(7)作为Ti源，平面C靶(5)作为碳元素的来源，采用平面对靶的方式将平面C靶(5)安置在炉体内壁上；(3)通入氩气到真空室，对真空室和预处理好的基体进行清洗；(4)清洗完成后，调节氩气流量到20-24ml/min、将真空室气压调至0.28-0.32Pa，然后开启柱弧Ti靶(7)、柱弧电流为60A，调整偏压到-100～-150V并保持5min，在基体表面镀Ti基层，完成后打开平面C靶(5)的控制电源，将平面C靶(5)的电源功率在20min内调至3KW，并将柱弧Ti靶(7)的电流从60A减小到0A来制备TiC过渡层；然后保持平面C靶(5)的功率3KW不变，在基体表面的TiC过渡层上制备类金刚石涂层，镀膜过程中真空室温度为100-200℃、镀膜时间为30-90min。
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