[发明专利]直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910022513.1 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101556257A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 李昕;朱长纯;刘君华;刘卫华 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种直热式碳纳米管气体传感器及敏感膜的制备方法，采用直热式叉指电极作为信号拾取和加热丝的碳纳米管气体传感器。直热式叉指电极可以拾取敏感膜输出信号，拾取信号时采用电极并联结构。直热式叉指电极可以作为加热丝，使加热电流流过每个指条形成串联回路，对其上的敏感膜区域加热。直热式叉指电极工艺简单，无需专门设计加热层，直接加热效果好，功耗低。直接加热敏感膜而无须通过加热衬底来提高敏感膜温度，因而不要求衬底具有良好的导热性，适应于更多种类衬底材料。 | ||
| 搜索关键词： | 直热式碳 纳米 气体 传感器 敏感 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种直热式碳纳米管敏感膜气体传感器，包括碳纳米管复合敏感膜、叉指电极和传感器衬底，传感器衬底上设置叉指电极，叉指电极上设置气体敏感膜，其特征在于，所述的气体敏感膜是碳纳米管复合薄膜(14)，所述的叉指电极是直热式叉指电极(15，16，19)，所述的传感器衬底是传感器绝缘衬底(17)，同边的直热式叉指电极(1～6或7～12)所有指条之间相互串联，形成加热电流回路。
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