[发明专利]一种复合纳米金刚石薄膜电子发射阴极的制备方法

摘要

本发明涉及冷光源、信息显示及半导体电子技术领域，公开了一种复合纳米金刚石薄膜电子发射阴极的制备方法，包括下列步骤：a.制备复合纳米金刚石浆料；b.丝网印刷制备复合纳米金刚石薄膜；c.印刷后的热烧结处理；d.热烧结后等离子体处理；e.在导电衬底上引出阴极电极即可。本发明制备的复合纳米金刚石薄膜电子发射阴极具有电子发射效率高、稳定性高、使用寿命长，工作温度范围大等优点，可用于制作极地考察、航空航天等的恶劣工作环境的节能冷光源、显示器、传感器、半导体电子源。

主权项

1、一种复合纳米金刚石薄膜电子发射阴极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、分别研磨纳米金刚石和纳米石墨，散开其团聚体，然后将纳米石墨、纳米金刚石、乙基纤维素按重量比2∶5∶6-2∶7∶9的比例混合作为溶质；b、按重量比1∶4至1∶2的比例将溶质加入松油醇溶剂中，超声分散6-9小时，再在380-400K下加热搅拌，再次过400-450目筛后，自然冷却至室温，得纳米金刚石浆料待用；c、选择300-400目的金属丝网或涤纶丝网，丝网印刷纳米金刚石浆料在导电衬底上，然后热烧结处理；d、热烧结处理时，先升温至330-350K后保持10-15分钟，再升温至400-430K后保持100-120分钟，然后升温至580-590K后保持50-60分钟，最后自然冷却至室温，得烧结后复合纳米金刚石薄膜待用；e、将烧结后复合纳米金刚石薄膜表面进行氢等离子体处理；f、最后，在导电衬底上引出阴极电极，即得复合纳米金刚石薄膜电子发射阴极。