[发明专利]稀疏孔径光瞳结构有效
| 申请号： | 200910023582.4 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101995567A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 梁士通;杨建峰;阮萍;薛彬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种稀疏孔径光瞳结构，由9个直径相同的子镜构成，其中3个子镜的圆心平均分布在圆A的圆周上，其余6个子镜的圆心分布在圆B的圆周上，圆A与圆B为同心圆，半径比为2∶3，分布在圆A圆周上的3个子镜的圆心连线构成一等边三角形，该等边三角形的每个角的角平分线分别通过圆心O并延伸与圆B的圆周相交于点M1、M2和M3，分布在圆B的圆周上的6个子镜每两个为一组，每一组中的两个子镜的圆心与圆心O的连线组成的夹角为20度，此夹角共三个，OM1、OM2、OM3分别为这三个夹角的角平分线，该结构的填充因子F的变化范围是0＜F≤19.7％。该结构结构简单，各子镜较容易装配，MTF呈正六边形分布，分布均匀，分辨率高，成像性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 稀疏 孔径 结构 | ||
【主权项】：
稀疏孔径光瞳结构，由9个直径相同的子镜构成，其特殊之处在于9个子镜的分布结构为：其中3个子镜的圆心平均分布在圆A的圆周上，其余6个子镜的圆心分布在圆B的圆周上，圆A与圆B为同心圆，该同心圆的圆心为O，圆A的半径为r1，圆B的半径为r2，r1∶r2＝2∶3，分布在圆A圆周上的3个子镜的圆心连线构成一等边三角形，该等边三角形的每个角的角平分线分别通过同心圆的圆心O并延伸与圆B的圆周相交，三个交点分别为M1、M2和M3，分布在圆B的圆周上的6个子镜每两个分为一组，共分三组，每一组中的两个子镜的圆心与同心圆的圆心O的连线组成的夹角为20度，此夹角共三个，同心圆的圆心O与交点M1、M2和M3的连线OM1、OM2和OM3分别为这三个夹角的角平分线，该稀疏孔径光瞳结构的填充因子定义为： F = nd 2 ( r 2 + d ) 2 其中n为子镜个数，d为子镜的半径，r2为圆B的半径，该填充因子的变化范围是0＜F≤19.7％。
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