[发明专利]基于CVD法制备长矛状ZnO纳米/微米结构的方法

摘要

本发明公开了一种基于CVD法制备长矛状ZnO纳米/微米结构的方法，(1)设置程控扩散炉工作参数；(2)制备蒸发源：将高纯ZnO粉末和高纯C粉按摩尔比1∶2混合均匀得到混合物，以此混合物作为程控扩散炉的蒸发源；(3)制备ZnO纳米/微米结构：将步骤(2)所述蒸发源置于程控扩散炉中，启动程控扩散炉加热蒸发源获得ZnO纳米/微米结构。采用本发明的方法，能制备纯度＞99.999％具有长矛状形貌的ZnO纳米/微米结构；同时，此结构与其它ZnO纳米结构相比，具有优良的光学性能，该方法具有工艺简单，可控性和可重复性高，适用于大面积ZnO纳米结构制备等优点。

主权项

1、基于CVD法制备长矛状ZnO纳米/微米结构的方法，其特征在于：(1)设置程控扩散炉工作参数：设置本底真空度为1.2Pa、最高加热温度为1100℃；程控扩散炉使用石英反应炉管；调节载气为Ar气，调节阀门控制流量为10-40sccm，Ar气压保持在1-3×103Pa；Ar气纯度＞99.999％；基底材料为100面的p型Si，基底温度设定为400-700℃；蒸发源的加热温度为800-1000℃，蒸发源质量为5-20克；(2)制备蒸发源：将高纯ZnO粉末和高纯C粉按摩尔比1∶2混合均匀得到混合物，以此混合物作为程控扩散炉的蒸发源；(3)制备ZnO纳米/微米结构：将步骤(2)所述蒸发源置于程控扩散炉中，启动程控扩散炉加热蒸发源获得ZnO纳米/微米结构；所述ZnO纳米/微米结构的生长时间为1-3小时。