[发明专利]一种表面电子场发射三极结构及其制备方法

摘要

一种表面电子场发射三极结构及其制备方法为：a.)在阴极玻璃基板上采用印刷、烧结，或者镀膜、光刻，或者涂附、烧结的方法制备数据电极，b.)在数据电极上通过平面印刷或者镀膜的方式制备平面介质层，然后通过曝光和腐蚀工艺得到贯穿平面介质层的直孔阵列；c.)在平面介质层上印刷、烧结，或者镀膜、光刻，d).利用喷涂、镀膜、涂敷或者印刷方法在行扫描电极和连接电极之间制备电子散射材料层，e.)在电子散射材料层上，利用喷涂、镀膜、涂敷或者印刷方法制备纳米导电颗粒层，并确保行扫描电极和连接电极之间不出现短路，f.)在介质层上制备支撑体，g.)在带透明导电膜阳极玻璃基板的透明导电膜一侧上制备荧光粉层。

主权项

1、一种表面电子场发射三极结构，其特征是在阴极玻璃基板(1)上覆盖有数据电极(2)，在数据电极(2)上为介质层(3)，介质层(3)上设有支撑体(9)，在支撑体(9)上设有阳极玻璃基板(10)，在阳极玻璃基板(10)的下表面设有阳极电极(11)，在阳极电极(11)下表面的设有荧光粉层(12)；在介质层(3)上设有与数据电极(2)平行的连接电极(5)、与数据电极垂直的行扫描电极(6)和电子散射材料层(7)，连接电极(5)和行扫描电极(6)之间有宽度小于100微米的间隙，电子散射材料层(7)的中部凸出部分位于该间隙中，两边覆盖在连接电极(5)、行扫描电极(6)的上部，在电子散射材料层(7)上设有纳米导电颗粒层(8)；介质层(3)中设有贯穿通道(4)联通数据电极(2)和连接电极(5)。