[发明专利]用等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的方法无效
| 申请号： | 200910026056.3 | 申请日： | 2009-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101497992A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 赵青南;董玉红;卢秀强 | 申请（专利权）人： | 江苏秀强玻璃工艺有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 223800江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 用等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的方法属于玻璃加工和薄膜太阳能光伏电池领域。ZnO绒面导电玻璃是实现光伏建筑一体化的关键材料，是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换率的重要前提。本发明的特征在于一种用等离子体轰击制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法，其特征在于(1)用等离子体首先对玻璃基片进行前处理轰击，在玻璃表面形成绒面；(2)然后在绒面玻璃表面用磁控溅射镀SiO2隔离过渡层，再在SiO2隔离过渡层上溅射镀ZnO薄膜；(3)最后再用等离子体轰击ZnO膜面，形成ZnO绒面透明导电玻璃。制备的ZnO绒面透明导电玻璃的绒度4-9％，可见光总透射率≥75％，方块电阻8-20Ω/□。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 轰击 制备 氧化锌 透明 导电 镀膜 玻璃 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用等离子体轰击制备绒面氧化锌透明导电镀膜玻璃的方法，其特征在于该方法包括以下步骤：a. 用等离子体首先对玻璃基片进行前处理轰击，在玻璃表面形成绒面；b. 在绒面玻璃表面用磁控溅射镀SiO2隔离过渡层，再在SiO2隔离过渡层上溅射镀ZnO薄膜；c. 在线等离子体轰击ZnO膜面，形成ZnO绒面透明导电玻璃。
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