[发明专利]一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线

摘要

一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线采用卧式基片移动方式，由十个独立模块串联组合而成。它装有三个直流溅射电源和十二个中频溅射电源，电源之间可以互换；在溅射镀膜室的前、后锁定室和缓冲室增加等离子体源产生装置，该等离子体源产生的等离子体能够对玻璃基片进行轰击处理，在玻璃表面形成绒面；也能对溅射镀制的ZnO膜面进行轰击处理，形成ZnO绒面透明导电玻璃；各溅射室之间装真空锁，避免串气、以及根据需要开启各室的真空系统，降低电耗；在进片和前锁定室有加热装置、在传输辊上套装无水冷却就可耐热200℃的含氟橡胶轮。

主权项

1、一种一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线，其特征在于生产线采用卧式基片移动方式，该生产线按以下顺序连接：玻璃上片(1)、前进片室(2)、第一加热器(31)、第二加热器(32)、第一等离子源(51)、前锁定室(4)、前缓冲室(6)、第一真空锁(71)、第一中频电源溅射靶(801)、第二中频电源溅射靶(802)、第三中频电源溅射靶(803)、第四中频电源溅射靶(804)、第二真空锁(72)、第一隔离室(101)、第三真空锁(73)、第五中频电源溅射靶(805)、第六中频电源溅射靶(806)、第七中频电源溅射靶(807)、第八中频电源溅射靶(808)、第四真空锁(74)、第二隔离室(102)、第五真空锁(75)、第一直流电源(121)、第二直流电源(122)、第三直流电源(123)、第六真空锁(76)、第三隔离室(103)、第七真空锁(77)、第九中频电源溅射靶(809)、第十中频电源溅射靶(810)、第十一中频电源溅射靶(811)、第十二中频电源溅射靶(812)、第八真空锁(78)、第二等离子源(52)、后锁定室(13)、后出片室(14)，在每相邻两中频电源溅射靶之间设有屏蔽隔板(9)。