[发明专利]应用于LED激光切割设备的同轴影像系统

摘要

本发明涉及应用于LED激光切割设备的同轴影像系统应，包括同轴LED点光源模组、45度全反镜、广角CCD模组、第一45度分光镜、小视野高倍率上CCD模组、第二45度分光镜、波长选择镜、LED环形光源、聚焦镜、小视野高倍率下CCD模组，同轴LED点光源模组、广角CCD模组和小视野高倍率上CCD模组三者自上而下并排排布，波长选择镜安装在上CCD模组与聚焦镜之间，LED环形光源紧贴在聚焦镜上，聚焦镜正对于工件，在工件的下方安装小视野高倍率下CCD模组。本发明实现在LED激光切割设备中的同轴实时影像定位功能，广角CCD和小视野高倍率上CCD组合使用实现微米量级的测量精细度，小视野高倍率上CCD和小视野高倍率下CCD便捷切换满足正切、背切、表面粗化和背镀铝晶圆的切割。

主权项

1.应用于LED激光切割设备的同轴影像系统，包括同轴LED点光源模组(1)、45度全反镜(2)、广角CCD模组(3)、第一45度分光镜(4)、小视野高倍率上CCD模组(5)、第二45度分光镜(6)、波长选择镜(7)、LED环形光源(8)、聚焦镜(9)、小视野高倍率下CCD模组(10)，其特征在于：所述同轴LED点光源模组(1)、广角CCD模组(3)和小视野高倍率上CCD模组(5)三者自上而下并排排布，波长选择镜(7)安装在上CCD模组(5)与聚焦镜(9)之间，LED环形光源(8)紧贴在聚焦镜(9)上，聚焦镜(9)正对于工件，在工件的下方安装小视野高倍率下CCD模组(10)；所述同轴LED点光源模组(1)输出的照明光源通过45度全反镜(2)形成自上而下垂直照射，依次透过第一45度分光镜(4)、第二45度分光镜(6)、波长选择镜(7)和聚焦镜(9)将工件投影成像于小视野高倍率下CCD模组(10)；所述LED环形光源(8)出射的照明光源将工件表面反射经聚焦镜(9)、波长选择镜(7)、第二45度分光镜(6)和第一45度分光镜(4)成像于广角CCD模组(3)；所述小视野高倍率下CCD模组(10)出射的照明光源将工件投影透过聚焦镜(9)、波长选择镜(7)和第二45度分光镜(6)成像于小视野高倍率上CCD模组(5)。