[发明专利]一种运动解耦的XY向精密定位平台

摘要

一种运动解耦的XY向精密定位平台，平台由基座、第一、第二音圈直线电机、第一、第二连接法兰、第一、第二直线轴承组件、工作平台和支撑平台组件组成，第一、第二音圈直线电机以正交方式分别通过第一连接法兰、第一直线轴承组件和第二连接法兰、第二直线轴承组件与工作平台连接，第一音圈直线电机与第一连接法兰连接，第一连接法兰与第一直线轴承组件的第一轴承体连接，第一直线轴承组件的第一轴承座与工作平台连接，第二音圈直线电机与第二连接法兰连接，第二连接法兰与第二直线轴承组件的第二轴承体连接，第二直线轴承组件的第二轴承座与工作平台连接，工作平台由支撑平台组件支撑，支撑平台组件和第一、第二音圈直线电机在基座上。

主权项

1.一种运动解耦的XY向精密定位平台，其特征在于平台由基座(A)、第一音圈直线电机(B1)、第二音圈直线电机(B2)、第一连接法兰(C1)、第二连接法兰(C2)、第一直线轴承组件(D1)、第二直线轴承组件(D2)、工作平台(E)和支撑平台组件(F)组成，第一、第二音圈直线电机(B1、B2)以正交的方式分别通过第一连接法兰(C1)、第一直线轴承组件(D1)和第二连接法兰(C2)、第二直线轴承组件(D2)与工作平台(E)连接，所述的第一音圈直线电机(B1)与第一连接法兰(C1)连接，第一连接法兰(C1)与第一直线轴承组件(D1)中的第一轴承体(D12)连接，第一直线轴承组件(D1)中的第一轴承座(D11)与工作平台(E)连接，第二音圈直线电机(B2)与第二连接法兰(C2)连接，第二连接法兰(C2)与第二直线轴承组件(D2)中的第二轴承体(D22)连接，第二直线轴承组件(D2)中的第二轴承座(D21)与工作平台(E)连接，工作平台(E)由支撑平台组件(F)支撑，支撑平台组件(F)和第一、第二音圈直线电机(B1、B2)均固定在基座(A)上。