[发明专利]集成式不锈钢微流体反应器加工方法

摘要

一种集成式不锈钢微流体反应器加工方法，其特征是根据要求预先采用AUTOCAD设计图纸，输出DXF格式，由电火花设备接受后进行图线修正和放大缩小。根据要求选用不同板材的厚度作为微流道反应器的特征尺度。将所有微流道加工后，再切割出反应器的整体尺寸；而后加工所有的孔洞；将所有需要焊接的表面打磨成镜面，清洗后按顺序叠放经真空扩散焊封装，最后焊接入口与出口接管，完成所有装配。本发明气密性好，可耐高低温，选用材料普通，加工简单可批量化生产，减小生产成本。

主权项

1、一种集成式不锈钢微流体反应器加工方法，其特征是它包括以下步骤：首先选取板厚与微流道或孔洞深度相匹配的不锈钢板作为基材，在基材上加工出所需的微流道和/或孔洞，完成不锈钢微流道和孔洞的电火花加工；其次，将加工完成的不锈钢板利用打磨设备或砂纸进行打磨、清洗并进行校平处理，得到粗糙度为Ra0.6～0.8，平面度为1.2～2cm/m的不锈钢板；完成已加工不锈钢板的清洗、打磨及校平工作；第三，将所有需集成的封板及不锈钢板按组装次序置于真空扩散焊接炉中分三个升温阶段进行真空扩散焊封装，第一阶段从常压下室温升温至180～220℃，保温8～12min，然后常压下升温至790～820℃，保温18～22min，最后升温至880～910℃，保温70～90min的同时施加14.8～15.4MPa载荷的压力，保压结构后在真空条件下，进行循环水冷至室温，即完成封装过程，得到微反应器主体；最后，利用钎焊方法为上述微反应器主体上的进出口焊上反应所需的接口，控制钎焊温度在580-620℃之间。