[发明专利]判断烧成炉炉温准确性和均匀性的方法无效

专利信息
申请号: 200910030812.X 申请日: 2009-04-16
公开(公告)号: CN101526402A 公开(公告)日: 2009-09-09
发明(设计)人: 杭岳琪;朱立锋;王保平;林青园 申请(专利权)人: 南京华显高科有限公司
主分类号: G01K5/48 分类号: G01K5/48
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 代理人: 夏 平
地址: 210061江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种判断烧成炉炉温准确性和均匀性的方法,它是主要利用荫罩的高温生长以后低温尺寸不完全回缩的特性通过对荫罩烧结前后尺寸的测量与标准值进行比较的方法,从而判断烧成炉炉温的准确性和均匀性。本发明的测量方法比较简单,便于实施,具有提高了生产效率,减少了资源的浪费和节约了生产成本的优点。
搜索关键词: 判断 烧成 炉温 准确性 均匀 方法
【主权项】:
1、一种判断烧成炉炉温准确性和均匀性的方法,其特征是它包括以下步骤:(a).选一张荫罩作为标准荫罩,在标准荫罩上选取测量点并记录测量点的中心坐标的横坐标X、纵坐标Y,在烧成炉炉温正常的情况下,将标准荫罩放入烧成炉烧结的炉膛(10)内,烧结完成后,记录标准荫罩测量点烧结后的中心坐标X、Y并记录;(b).将标准荫罩测量点烧结前后中心坐标X、Y的测量值进行比较,得出烧结前后标准荫罩的测量点中心坐标X、Y的变化量即ΔX、ΔY并将这个数值作为标准值;(c).选取一张未烧结的与标准荫罩相同的测量荫罩,测量与标准荫罩同样位置的实际测量点中心坐标值X1、Y1,然后放入烧成炉的炉膛(10)内烧结,测量荫罩烧结完成后,记录测量荫罩测量点烧结后的中心坐标的横坐标X1、纵坐标Y1;(d).将测量荫罩测量点烧结前后中心坐标X1、Y1的测量值进行比较,得出烧结前后测量荫罩的测量点中心坐标X1、Y1的变化量即ΔX1、ΔY1;(e).将测量荫罩的测量点中心坐标变化量即ΔX1、ΔY1分别与标准值ΔX、ΔY进行比较得到差值,如果差值在所选荫罩类型的合理误差范围内,误差范围是0-50um,炉温正常,烧成炉炉温准确性和均匀性符合要求;否则,炉温异常,烧成炉炉温准确性和均匀性不符合要求。
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