[发明专利]一种真空紫外平板光源无效
| 申请号： | 200910031217.8 | 申请日： | 2009-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101540262A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李青;哈姆.托勒;杨兰兰;郑姚生;刘杰;张子南;崔渊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01J63/00 | 分类号： | H01J63/00;H01J63/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空紫外平板光源，包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，在前基板上设置成对的平行电极，采用表面放电，或在前后基板设置电极，采用对向式放电方式，在电极表面上还设有介质层，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入一定气压的工作气体，可以由Ne和Xe气的混合气体构成，在电极间施加交流脉冲，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。本发明可以产生真空紫外光的面光源，对大面积处理表面具有优越性。可以实现单面和双面真空紫外平板光源，适合不同的应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 紫外 平板 光源 | ||
【主权项】：
1.一种真空紫外平板光源，其特征在于包括前基板和后基板，前后基板由石英玻璃制成，在前基板与后基板之间设有放电腔体，采用表面放电方式，在前基板上设置成对的平行电极，并位于所述的放电腔体内，在前基板上还设有介质层，所述成对电极位于前基板与介质层之间，在介质层上设有保护膜，放电腔体充入工作气体，可以由Ne和Xe气的混合气体构成，Xe气的比例高于或等于20％，也可以由纯Xe气构成，工作气体的气压为400～700Torr，在成对的平行电极间施加交流脉冲，当幅值超过工作气体的着火电压，工作气体放电，在维持电流脉冲的作用下，持续产生147nm和172nm的真空紫外光，通过石英基板出射到光源外面需要处理的表面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910031217.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于洗碗机的餐具篮以及洗碗机
- 下一篇：生产高疲劳强度光整推拉索芯用轧制设备
