[发明专利]用于生产高纯砷的大型蒸馏炉有效

专利信息
申请号: 200910032927.2 申请日: 2009-06-09
公开(公告)号: CN101570831A 公开(公告)日: 2009-11-04
发明(设计)人: 张世才;王继荣 申请(专利权)人: 扬州高能新材料有限公司
主分类号: C22B30/04 分类号: C22B30/04;C22B9/02
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 代理人: 江 平
地址: 225123江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 用于生产高纯砷的大型蒸馏炉,涉及一种非金属材料的工业化提纯生产技术,特别是半导体基础材料超高纯砷的生产用蒸馏炉的技术。本发明包括由金属材料制成的密封蒸馏室,所述蒸馏室设置隔腔,在所述隔腔夹层中设置加热板,在所述蒸馏室内设置分隔层,在所述蒸馏室的一个上端连通设置由金属材料制成的蒸馏管。本发明设备结构设计合理、易于生产、方便使用,且使用寿命长、利于7N高纯砷的大批量工业化生产。各加热板可进行分别加温控制,保证蒸馏的均温热场,确保产品品质的一致性。
搜索关键词: 用于 生产 高纯 大型 蒸馏
【主权项】:
1、用于生产高纯砷的大型蒸馏炉,其特征在于包括由金属材料制成的密封蒸馏室,所述蒸馏室设置隔腔,在所述隔腔夹层中设置加热板,在所述蒸馏室内设置分隔层,在所述蒸馏室的一个上端连通设置由金属材料制成的蒸馏管。
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