[发明专利]用于生产高纯砷的大型蒸馏炉有效
申请号: | 200910032927.2 | 申请日: | 2009-06-09 |
公开(公告)号: | CN101570831A | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
发明(设计)人: | 张世才;王继荣 | 申请(专利权)人: | 扬州高能新材料有限公司 |
主分类号: | C22B30/04 | 分类号: | C22B30/04;C22B9/02 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人: | 江 平 |
地址: | 225123江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 用于生产高纯砷的大型蒸馏炉,涉及一种非金属材料的工业化提纯生产技术,特别是半导体基础材料超高纯砷的生产用蒸馏炉的技术。本发明包括由金属材料制成的密封蒸馏室,所述蒸馏室设置隔腔,在所述隔腔夹层中设置加热板,在所述蒸馏室内设置分隔层,在所述蒸馏室的一个上端连通设置由金属材料制成的蒸馏管。本发明设备结构设计合理、易于生产、方便使用,且使用寿命长、利于7N高纯砷的大批量工业化生产。各加热板可进行分别加温控制,保证蒸馏的均温热场,确保产品品质的一致性。 | ||
搜索关键词: | 用于 生产 高纯 大型 蒸馏 | ||
【主权项】:
1、用于生产高纯砷的大型蒸馏炉,其特征在于包括由金属材料制成的密封蒸馏室,所述蒸馏室设置隔腔,在所述隔腔夹层中设置加热板,在所述蒸馏室内设置分隔层,在所述蒸馏室的一个上端连通设置由金属材料制成的蒸馏管。
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