[发明专利]连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管有效
| 申请号： | 200910034248.9 | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN101643310A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 成士林 | 申请（专利权）人： | 成士林 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222300江苏省东海县驼峰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管，其特征在于，将掺杂有碳化硅与/或氮化硅的石英原料投入连熔炉坞坩埚内，经通电熔融的石英料液在钨坩埚内经过高温热沉淀，排出气体杂质和液体杂质后，料液流经成型器料台进行成型；在成型石英管的下料口处，通过喷涂设备在成型石英管的外表面高温热喷涂碳化硅与/或氮化硅粉体形成涂层，再经过变频控制的牵引机向下拉制成型，得到超大口径抗高温变形石英玻璃管。本发明可以一步法成型超大口径抗高温变形石英玻璃管，所生产的石英玻璃管可抗高温1500-1650℃，变形率＜3％，可应用8″和12″大规模集成电路硅片高温扩散材料上，可以二次重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一步法 生产 超大 口径 高温 变形 石英 玻璃管 | ||
【主权项】：
1、连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管，其特征在于，其步骤如下：将掺杂有碳化硅与/或氮化硅的石英原料投入连熔炉坞坩埚内，经通电熔融的石英料液在钨坩埚内经过2200℃∽2500℃的高温热沉淀，并通过排气孔排出气体杂质和液体杂质后，料液流经成型器料台进行成型，所述的连熔炉内的成型器芯杆的直径为380mm∽400mm，成型器料台的直径为420∽435mm；在成型石英管的下料口处，通过喷涂设备在成型石英管的高温外表面连续热喷涂碳化硅粉体与/或氮化硅粉体，并在成型石英管的表面形成1-3mm碳化硅与/或氮化硅涂层，再经过变频控制的牵引机向下拉制成型，得到直径为320∽420mm的超大口径抗高温变形石英玻璃管。
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