[发明专利]一种在硅表面化学镀铂的方法

摘要

一种在硅表面化学镀铂的方法，属于化学镀铂的技术领域，具体是在硅片上化学镀粘附性强、致密高的金属铂的方法。该方法是在氢氟酸溶液中加入了氯金酸和氯铂酸，从而可在硅表面快速诱发致高密度的铂的沉积，并可实现在硅表面铂薄膜层的完全覆盖，得到致密、牢固、均匀、颗粒微小的铂镀层。该方法操作简单、成本低廉、表面铂颗粒分布均匀。

主权项

1、一种在硅表面化学镀铂的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)、先对硅表面进行清洗处理；(2)、然后在氟化氢与氟化氨溶液中进行刻蚀处理；(3)、将经过刻蚀后的硅片置于HF与H2PtCl6以及HAuCl4的混合溶液中浸泡3～15分钟，浓度分别是，HF为1-10M，H2PtCl6为3.8×10-4～3.8×10-5M，HAuCl4为4.0×10-5M～4.0×10-7M，镀液温度为20-50℃；(4)、之后用水清洗，即可得到密度高的纳米级铂薄膜。