[发明专利]一种制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法

摘要

一种制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法属于玻璃加工和硅薄膜太阳能光伏电池领域。绒面ZnO透明导电玻璃是实现光伏建筑一体化的关键材料，是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换率的重要前提。本发明在绒面玻璃基片上制备ZnO透明导电镀膜，形成和绒面玻璃相同绒面结构的ZnO透明导电膜。该方法为：1)用压延法生产的绒面玻璃作为玻璃基片；2)然后在玻璃的绒面表面用磁控溅射镀SiO₂隔离过渡层，再在SiO₂隔离过渡层上溅射沉积ZnO薄膜；3)形成的ZnO透明导电绒面膜的结构与绒面玻璃基片的一致；制备的绒面ZnO透明导电玻璃的绒度在10-40％之间，可见光总透射率≥82％，方块电阻在8-20Ω/□之间。

主权项

1.一种制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法，其特征在于该制备方法为：1)采用压延法生产的绒面玻璃作为基片，清洗玻璃表面；2)将清净处理过的绒面玻璃基片直接送入溅射镀膜设备中，溅射室的背底真空小于2.5X10-3Pa；在玻璃的绒面上直接用磁控溅射沉积厚度为400nm～1000nm的ZnO薄膜；形成和玻璃绒面结构相一致的绒面ZnO透明导电玻璃。