[发明专利]一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置

摘要

本发明涉及一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置。本发明采用以下三个闭路循环：酸性废蚀刻液铜分离及组分调配循环、铜萃取剂循环、电解提铜和反萃取剂循环。酸性废蚀刻液经过铜萃取-反萃取机构除铜后再经组分调配供酸性蚀刻机循环使用，萃取剂在铜萃取-反萃取机构中循环使用，含铜反萃取剂在经过电解沉积铜除铜后返回铜萃取-反萃取机构中循环使用，电解沉积铜所产生的电解铜可以作为商品出售，所以在整个处理过程中物料实现闭路循环，没有废水排放，能有效回收铜和循环利用废蚀刻液中其他物质。并且由于其铜萃取剂的萃取和反萃取操作都是在铜萃取-反萃取机构中进行，槽内液体流动靠溢流不需要泵，所以其不仅操作方便，而且整体结构紧凑。

主权项

1、一种酸性废蚀刻液的循环再生方法，其特征在于包括以下循环步骤：酸性废蚀刻液铜分离及组分调配循环：酸性蚀刻机进行蚀刻后所产生的酸性废蚀刻液在铜萃取-反萃取机构(2)中经铜萃取剂萃取除铜后形成提铜后废蚀刻液，提铜后废蚀刻液在进行组份调配使其达到生产所需要求后，返回酸性蚀刻机(1)循环使用；铜萃取剂循环：铜萃取剂在所述铜萃取-反萃取机构(2)中萃取铜后形成含铜的铜萃取剂，含铜的铜萃取剂再与反萃取剂充分反应使铜离子释放到反萃取剂中，卸载铜后的铜萃取剂恢复萃取功能，返回萃取-反萃取机构(2)中的萃取工序循环使用；电解提铜和反萃取剂循环：所述含铜离子的反萃取剂经过电解沉积提铜后恢复反萃取功能，返回铜萃取-反萃取机构(2)中的反萃取工序循环使用，而电解沉积所提取出来的铜为高纯度铜。