[发明专利]一种非挥发性电阻存储元件及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200910039783.3 申请日: 2009-05-27
公开(公告)号: CN101562228A 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 包定华;陈心满 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;G11C11/56;C23C20/06
代理公司: 广州粤高专利代理有限公司 代理人: 陈 卫
地址: 510275广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种非挥发性电阻存储元件及其制备方法,该存储元件包括NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层、以及分别配置在该异质结薄膜层上表面和下表面的Pt电极。本发明的电阻存储元件具有稳定且可重复的电阻开关特性,高阻、低阻两状态之间转换所对应电压值分布在0.55~0.6V之间,发散程度较小,且均低于1V,能够满足实际应用的要求,且该存储元件的高阻、低阻比值较大,达到106,保证了器件较高的信噪比,同时该存储元件的初始化电流较小,为1μA。本发明的制备方法采用溶胶-凝胶法,不但操作简单、成本低、化学组成易控,而且制备得到的薄膜无裂纹、致密性好、晶粒分布均匀。
搜索关键词: 一种 挥发性 电阻 存储 元件 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种非挥发性电阻存储元件,其特征在于该存储元件包括:(1)NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层;(2)配置制作在上述NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层上表面的Pt电极;(3)配置在上述NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层下表面的Pt电极。
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