[发明专利]一种非挥发性电阻存储元件及其制备方法无效
申请号: | 200910039783.3 | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN101562228A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 包定华;陈心满 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C11/56;C23C20/06 |
代理公司: | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人: | 陈 卫 |
地址: | 510275广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种非挥发性电阻存储元件及其制备方法,该存储元件包括NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层、以及分别配置在该异质结薄膜层上表面和下表面的Pt电极。本发明的电阻存储元件具有稳定且可重复的电阻开关特性,高阻、低阻两状态之间转换所对应电压值分布在0.55~0.6V之间,发散程度较小,且均低于1V,能够满足实际应用的要求,且该存储元件的高阻、低阻比值较大,达到106,保证了器件较高的信噪比,同时该存储元件的初始化电流较小,为1μA。本发明的制备方法采用溶胶-凝胶法,不但操作简单、成本低、化学组成易控,而且制备得到的薄膜无裂纹、致密性好、晶粒分布均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 挥发性 电阻 存储 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种非挥发性电阻存储元件,其特征在于该存储元件包括:(1)NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层;(2)配置制作在上述NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层上表面的Pt电极;(3)配置在上述NiO/MgxZn1-xO(x=0.4~1)p-n异质结薄膜层下表面的Pt电极。
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