[发明专利]有优良疲劳特性的压电超声波雾化换能器的制作方法

摘要

有优良疲劳特性的压电超声波雾化换能器的制作方法，它包括如下步骤：A.优选压电材料体系并确定生产配方，[uPb1-a-bAaBb(ZrxTiyMz03+(1-u)Pb(Mn1/3Sb2/3)03]+awt％R1+bwt％R2；B.采用在压电基片的成型工艺中，使用碳黑与PVA造粒的方法进行成型，然后再采用排胶烧成的工艺，使得瓷体表面分布出一定尺寸及一定比例的针孔；C.利用化学沉积的方法制作镍电级，采用对化镍层进行热处理后再电镀并进行自然存放的工艺提升金属电极层与基体的结合强度。用本发明方法所制作出的器件其工作频率处的核心指标Zrt、Zat、BW变化相当小，疲劳特性相当优异，完全符合使用需要。

主权项

1、一种有优良疲劳特性的压电超声波雾化换能器的制作方法，其特征是：它包括如下步骤：A、优选压电材料体系并确定生产配方，使压电材料能满足在高频高功率下长时间工作的需要，本技术方案中所优选的压电材料体系是：[uPb1-a-bAaBb(ZrxTiyMz03+(1-u)Pb(Mn1/3Sb2/3)03]+awt％R1+bwt％R2其中：(1)u表示复合组元所占的摩尔分数，0≤u≤0.80；(2)a、b、x、y、z分别表示复合离子中相应元素在材料各组元中所占的原子数(即原子百分比)且有a+b＝1，x+y+z＝1式中：0. 10≤a≤0.70.05≤b≤0.70，元素A或B表示一种选自下列的二价离子：Ca、Mg、Ba、Sr；(3)R1与R2表示不同的化合物，a与b为其所占的附重比；B、采用新型的表面制作技术以保证基体与金属电极面的可靠结合，所述新型的表面制作技术是：在压电基片的成型工艺中，使用碳黑与PVA混合造粒的方法进行成型，然后再采用排胶烧成的工艺，使得瓷体沿厚度方向分布出一定尺寸及一定比例的针孔；C、优选电极制作工艺及确定最佳的电极后续处理工艺，使得金属电极层与基体达到最佳的结合力，所述优选电极制作工艺及确定最佳的电极后续处理工艺的技术是：利用沉积与电镀结合的的方法制作镍电级，采用对镍层进行热处理并进行自然存放的工艺提升金属电极层与基体的结合强度。