[发明专利]一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法有效
| 申请号： | 200910044556.X | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101666646A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 吴学忠;李圣怡;董培涛;谢立强;肖定邦;陈志华;侯占强;陈骄 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410073湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及制作方法，包括陀螺总成和衬底，陀螺总成包括第一驱动电极、第二驱动电极、驱动叉指、支撑锚点、框架、弹性支撑梁以及检测叉指，驱动叉指和检测叉指分别连接于框架的两端，框架的中部设有支撑锚点，支撑锚点的两端通过弹性支撑梁与框架相连，第一驱动电极和第二驱动电极分别位于驱动叉指的两侧，支撑锚点、第一驱动电极和第二驱动电极通过阳极键合的方式与衬底键合在一起，弹性支撑梁、框架、驱动叉指以及检测叉指与衬底之间留有间隙。本发明进一步公开了上述微机械陀螺的制作方法。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 音叉 微机 陀螺 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺，其特征在于：包括陀螺总成(11)和衬底(9)，所述陀螺总成(11)包括第一驱动电极(1)、第二驱动电极(2)、驱动叉指(3)、支撑锚点(4)、框架(5)、弹性支撑梁(6)以及检测叉指(7)，所述驱动叉指(3)和检测叉指(7)分别连接于框架(5)的两端，所述框架(5)的中部设有支撑锚点(4)，所述支撑锚点(4)的两端通过弹性支撑梁(6)与框架(5)相连，所述第一驱动电极(1)和第二驱动电极(2)分别位于驱动叉指(3)的两侧，所述支撑锚点(4)、第一驱动电极(1)和第二驱动电极(2)通过阳极键合的方式与衬底(9)键合在一起，所述弹性支撑梁(6)、框架(5)、驱动叉指(3)以及检测叉指(7)与衬底(9)之间留有间隙。
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