[发明专利]条波导萨格纳克环氨气传感器的制备方法无效
| 申请号： | 200910044896.2 | 申请日： | 2009-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN101532947A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 初凤红 | 申请（专利权）人： | 上海电力学院 |
| 主分类号： | G01N21/23 | 分类号： | G01N21/23 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200090上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种条波导Sagnac环氨气传感器的制备方法，包括下列步骤：a.以苯基三乙氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、正硅酸四乙酯为反应前驱物，然后加入对氨气敏感的含氮染料CR465，在0.004mol/L盐酸水溶液催化剂条件下进行水解反应，制得传感器用的溶胶-凝胶材料；b.用光刻方法在硅-二氧化硅基片上刻出条波导图案，然后用旋涂法将步骤a制备的溶胶-凝胶材料涂在所述硅-二氧化硅基片上得到条波导；c.将条波导接入到光纤Sagnac环中制得条波导Sagnac环氨气传感器。本发明提供了一种高灵敏度、不易受外界环境干扰、结构简单的条波导Sagnac环氨气传感器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 萨格纳克环 氨气 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种条波导Sagnac环氨气传感器的制备方法，包括下列步骤：a. 制备对氨气敏感的溶胶-凝胶材料以摩尔比为2∶6∶2的苯基三乙氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、正硅酸四乙酯作为反应前驱物，在反应前驱物中加入对氨气敏感的偶氮染料CR465，在0.004mol/L盐酸水溶液催化剂条件下进行水解反应，制得传感器用的溶胶-凝胶材料；b. 制备条波导用光刻方法在硅-二氧化硅基片上刻出条波导图案，光刻时间为20s，然后用旋涂法将步骤a制备的溶胶-凝胶材料涂在所述硅-二氧化硅基片上，旋速控制在1200rpm，即得到条波导；c. 制备传感器将步骤b制备的条波导接入到光纤Sagnac环中，即制得所述条波导Sagnac环氨气传感器。
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