[发明专利]柔性连接装置及应用柔性连接装置的曝光台有效
| 申请号： | 200910044992.7 | 申请日： | 2009-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN101526745A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 齐宁宁;齐芊枫;李志龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于光刻机系统的柔性连接装置及应用该柔性连接装置的曝光台。本发明的柔性连接装置包括：第一簧片，第二簧片，第三簧片；第一安装板，与所述第一簧片及第二簧片的一端固定连接；第二安装板，与所述第一簧片的另一端及第三簧片的一端固定连接；第三安装板，与所述第二簧片的另一端及第三簧片的另一端固定连接；其中，所述第一簧片与第二簧片长度相等、厚度相同。本发明公开的柔性连接装置可以通过簧片的形变对Rz向自由度进行解耦。这种柔性连接装置相连的设备Rz向旋转时，其旋转中心和连接刚度确定而且可控。这种柔性连接装置应用于高精度曝光台上，可以实现曝光台的减振和精确的位置补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 连接 装置 应用 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种柔性连接装置，用于曝光台装置的Rz向解耦，其特征在于，包括：第一簧片，第二簧片，第三簧片；第一安装板，与所述第一簧片及第二簧片的一端固定连接；第二安装板，与所述第一簧片的另一端及第三簧片的一端固定连接；第三安装板，与所述第二簧片的另一端及第三簧片的另一端固定连接；其中，所述第一簧片与第二簧片长度相等、厚度相同。
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