[发明专利]一种复合型水箱装置有效
| 申请号： | 200910045873.3 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101502812A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;卜荣翔;王飞;杨志斌;黄友任 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01L7/02 | 分类号： | B01L7/02;F25D17/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种复合型水箱装置，属于温控水箱装置领域。所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。该水箱具有结构紧凑、体积小、控温精度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 水箱 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种复合型水箱装置，其特征在于，所述水箱通过隔热层将水箱隔离设置为上部的补水箱和下部的加热水箱；补水箱顶部设置注水口，加热水箱中设置进水口、出水口和加热器；通过隔热层上开孔，形成一个或一个以上的用于直接向加热水箱补充溶液的补水口；溶液经由进水口、经加热水箱的加热器加热后，从出水口输出。
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