[发明专利]基于Petri网与免疫算法的半导体生产线建模与优化调度方法

摘要

本发明提供一种基于Petri网与免疫算法的半导体生产线优化调度方法。该方法利用Petri网对半导体生产线进行建模：路径调度模型；设备组调度模型和设备调度模型；免疫算法作为调度策略嵌入到Petri网模型中。通过Petri网模型，可以描述半导体制造系统所有可能的行为，如工件加工、设备故障、批处理和有缺陷的晶圆返工等。免疫算法的染色体可以直接从Petri网模型的搜索节点中构造出来，每条染色体的每个基因记录了每个设备组的调度策略。通过对Petri网模型的仿真，得到一个较好的染色体，从而生成一个次优的调度策略。优点是，降低了模型的复杂性、提高了模型和调度算法的可重用性。

主权项

1、一种基于Petri网与免疫算法的半导体生产线建模与优化调度方法，其中，基于Petri网与免疫算法的半导体生产线建模方法是：步骤1，建立路径调度模型：利用Petri网模型对半导体生产线进行层次化建模，在半导体生产线分层Petri网模型中，整个系统被分割成一系列的设备组，工件的加工过程看成是工件在这些设备组中的流动；当工件在一个设备组完成某一加工步骤时，需要选择下一步加工的加工设备组，即必须确定工件的移动路径，建立路径调度模型；步骤2，建立设备组调度模型：设备组调度是指工件在设备组缓冲区中，选择一个合适的具体设备加工，即工件选择设备调度，建立设备组调度模型；步骤3，建立设备调度模型：设备调度模型描述工件的详细加工过程，包括：紧急工件加工情况、设备整定、设备故障状态。