[发明专利]掩模版定位机构有效
| 申请号： | 200910046832.6 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101493657A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 方洁;齐芊枫;齐宁宁;郑椰琴 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模版定位保护机构，通过驱动模块驱动摆臂，使摆臂前端能够顶靠在掩模版的边缘，将多个掩模版定位机构设置在掩模版周边并联合运动，从而夹持所述掩模版并限制其X/Y/RZ向的自由度。该掩模版定位保护机构能够防止任何微小的位移，同时避免在真空意外丢失情况下掩模版飞出；如果发生意外，也不需要更换掩模版或对其进行重复预对准。其中，所述驱动模块具有锁定缓冲单元，从而能够实现驱动—锁定—缓冲—复位的功能，最大限度的保护掩模版，不会对其产生任何损伤或影响。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 定位 机构 | ||
【主权项】：
1、一种掩模版定位机构，其特征在于：包括基座、驱动模块及摆臂，其中所述驱动模块驱动所述摆臂在一定角度内进行摆动，使得所述摆臂前端能够顶靠在所述掩模版的边缘；将多个所述掩模版定位机构设置在掩模版周边并联合运动，以夹持所述掩模版并限制其X、Y、RZ向的自由度。
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