[发明专利]压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法有效
| 申请号： | 200910049634.5 | 申请日： | 2009-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101539588A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;刘民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 共振频率 测试 方法 | ||
【主权项】：
1、压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法，其特征在于保持压阻加速度传感器全桥电路连接结构的基础，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过外接电路，采用半桥输出形式，获取压阻加速度传感器模态共振频率的信息，通过数据采集和分析而获得器件的模态和相应的共振频率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910049634.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
