[发明专利]一种提升太阳电池扩散均匀性的方法

摘要

本发明公开一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，该方法通过设置石英炉管的温度，将待制备的硅片放入载片舟，放上载片桨，平稳送入石英炉管，打开设置的工艺气体及氮、氧气量开始扩散，本发明采用石英炉管为两端开口式高纯度的石英玻璃制体，在开口处的一端设有两个通孔，将小石英气管固定安装在炉管内壁上，并且在小石英气管上设有均匀分布的气孔，气体从总进气口开始逐渐由小变大、由疏变密，保证石英炉管内气氛均匀。这种扩散方式，批次的均匀性达到5％以内，明显优于传统的尾部进气扩散方式。有效降低成本，提高生产效率。

主权项

一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，其特征在于，该方法通过如下步骤实现：步骤1：设置石英炉管[1]的温度830-910℃，并等待40-60分钟使温度稳定；步骤2：将待制备的硅片放入载片舟，放上载片桨，平稳送入石英炉管[1]中，在操作界面上打开工艺气体(氮气、氧气)，并在界面上设置携源氮气流量1600-3500ml/min，氧气量1200-3000ml/min开始扩散；步骤3：扩散完成后，载片桨自动退出，用专用工具取下载片舟并冷却后取出硅片，用四探针测试仪测试位于硅片中间和四角共5点的方块电阻，测得扩散后的方块电阻为49-51。