[发明专利]一种精密离子研磨机台及其样片夹有效
| 申请号： | 200910050249.2 | 申请日： | 2009-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101876605A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 虞勤琴;高强;胡建强;王燕君 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种精密离子研磨机台及其样片夹，其中，包括一个或多个夹片，所述一个或多个夹片能够在其所属平面内移动，以调整所述样片相对于所述精密离子机台的离子束的固定位置。本发明还提供了一种精密离子研磨机台，其中，包括本实施例第一方面所提供的样片夹。本发明能够调整TEM相对于精密离子研磨机台的离子抢的位置，从而有效地避免样片被过度研磨甚至造成破损，而需要观察的结构仍在该破损处边缘较厚处的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 离子 研磨 机台 及其 样片 | ||
【主权项】：
一种用于精密离子研磨机台的样片夹，其中，包括一个或多个夹片，所述一个或多个夹片能够在其所属平面内移动，以调整所述样片相对于所述精密离子机台的离子束的固定位置。
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