[发明专利]一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法无效
| 申请号： | 200910051002.2 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101549848A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 李四华;徐静;吴亚明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00;B81C5/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器的制作方法，其特征在于①首先在斜晶向硅片(1)上利用氢氧化钾腐蚀溶液制作出具有一定倾斜角度的倾斜硅表面(2)和倾斜硅表面(3)；②然后在倾斜硅表面(2)上制作驱动器的下电极；③接着在另一块硅片的表面制作出扭转镜面驱动器的上电极与下电极的隔离空间；④两块硅片进行圆片级的键合工艺，得到完整的键合片，再对键合片的表面进行整体减薄，得到最终的器件层；⑤最后在减薄后的器件层上制作出扭转镜面驱动器的两端固定的支撑梁、驱动器的上电极和扭转微镜面；⑥对整个硅片进行划片后得到单个大角度扭转镜面驱动器。所制作的驱动器由于采用了倾斜电极，可以在减少驱动电压的情况下，实现大角度微镜面扭转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 扭转 微镜面 驱动器 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种大角度扭转镜面驱动器的制作方法，其特征在于①首先在斜晶向硅片(1)上利用氢氧化钾腐蚀溶液制作出具有一定倾斜角度的倾斜硅表面(2)和倾斜硅表面(3)；②然后在倾斜硅表面(2)上制作驱动器的下电极；③接着在另一块硅片的表面制作出扭转镜面驱动器的上电极与下电极的隔离空间；④两块硅片进行圆片级的键合工艺，得到完整的键合片，再对键合片的表面进行整体减薄，得到最终的器件层；⑤最后在减薄后的器件层上制作出扭转镜面驱动器的两端固定的支撑梁、驱动器的上电极和扭转微镜面；⑥对整个硅片进行划片后得到单个大角度扭转镜面驱动器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910051002.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：勾股定理演示仪
- 下一篇：一种测量光伏电站光伏电池温度的传感器的安装结构
