[发明专利]大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用无效
| 申请号： | 200910051003.7 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101587240A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;李四华;徐静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B6/35 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器及其在光开关中的应用。其特征在于所述的大角度扭转微镜面驱动器由扭转梁(1)、扭转梁(2)、微镜面(3)、倾斜下电极(4)，倾斜面(5)、倾斜面(6)、硅基底材料(7)构成；其中，扭转梁(1)和扭转梁(2)与微镜面(3)相连且对称排列于微镜面(3)的两侧，微镜面(3)兼作驱动器的上电极，倾斜下电极(4)制作在倾斜面(5)上，与微镜面(3)构成倾斜电极静电驱动器，倾斜面(5)和倾斜面(6)之间有一定夹角，两者均制作在基底材料(7)上。作为光开关的应用是采用TO管壳的封装形式，由所述的驱动器、多光纤准直器、TO封装底座和对应管壳构成，制作成的光开关具有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高、响应速度快等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 角度 扭转 微镜面 驱动器 及其 开关 中的 应用 | ||
【主权项】：
1、一种大角度扭转镜面驱动器，其特征在于所述的大角度扭转微镜面驱动器由扭转梁(1)、扭转梁(2)、微镜面(3)、倾斜下电极(4)，倾斜面(5)、倾斜面(6)和硅基底材料(7)构成；其中，扭转梁(1)和扭转梁(2)与微镜面(3)相连且对称排列于微镜面(3)的两侧，微镜面(3)兼作驱动器的上电极，倾斜下电极(4)制作在倾斜面(5)上，与微镜面(3)构成倾斜电极静电驱动器，倾斜面(5)和倾斜面(6)之间有一定夹角，两者均制作在基底材料(7)上。
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