[发明专利]一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置及方法有效
| 申请号： | 200910051049.9 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101586941A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏飞;张志平;张晓文;任胜伟;池峰;陈勇辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置，包括第一偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的透射光的光路上；第三偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的反射光的光路上；第一四分之一波片，所述第二偏振分光棱镜位于所述第一四分之一波片和所述第一偏振分光棱镜之间；至少一个第一角锥棱镜，并排放置于所述第二偏振分光棱镜的一侧；第二四分之一波片，位于所述第三偏振分光棱镜的一侧，本发明采用多个偏振分光棱镜级联，并且测量光路和参考光路在干涉装置内部等光程，所以不但具有极低的非线性误差，而且温度漂移也比较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非线性 误差 低温 双频 激光 干涉 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置，其特征在于：第一偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的透射光的光路上；第三偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的反射光的光路上；第一四分之一波片，所述第二偏振分光棱镜位于所述第一四分之一波片和所述第一偏振分光棱镜之间；至少一个第一角锥棱镜，并排放置于所述第二偏振分光棱镜的一侧；第二四分之一波片，位于所述第三偏振分光棱镜的一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910051049.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
