[发明专利]电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积

摘要

一种电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积设备，包括：反应腔、喷淋装置、衬底载片台、石墨盘、电极，其特征在于在金属有机物化学气相沉积设备的喷淋口上增设上电极，在石墨盘侧边或底边增设下电极，上电极与下电极构成平板电容结构，形成垂直于衬底表面的电场。用该设备可以调节和控制半导体外延薄膜生长极性。本发明利用恒定或者交变的电场(或磁场)对生长中的III族氮化物材料极性程度进行调节，同时赋予掺杂原子额外能量，获得高载流子浓度的掺杂III族氮化物薄膜材料。通过引入电场和磁场提高III族氮化物外延材料掺杂效率，对样品无污染，而且成品率高，可应用在大规模生产中。

主权项

一种电磁场辅助的金属有机物化学气相沉积设备，包括：反应腔、喷淋口装置、喷淋冷却液体进口、衬底载片台、石墨盘、石墨盘支承轴、电极，其特征在于：在金属有机物化学气相沉积设备的喷淋口上增设上电极，在石墨盘侧边或底边增设下电极，上电极与下电极构成平板电容结构，形成垂直于衬底表面的电场。