[发明专利]一种增加变形梁强度和使用寿命的结构及其应用无效
| 申请号： | 200910051291.6 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101559913A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 许磊;李铁;王翊;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种增加变形梁强度和使用寿命的结构及其应用，属于微电子机械系统(MEMS)领域。其特征在于在梁与支撑端的连接处增加转角，使梁与支撑端的夹角都是钝角。这种支撑端连接处带有转角的梁，在梁发生形变时可以有效地减小形变在支撑端产生的应力，既增加了梁的强度也延长了梁的使用寿命。本发明可应用于多种带有变形梁的MEMS器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增加 变形 强度 使用寿命 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
1、一种增强变形梁强度和使用寿命的结构，其特征在于增加梁与支撑端连接处的宽度，形成一个加固的转角，使悬梁结构与支撑梁连接处的夹角为顿角。
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