[发明专利]零标记曝光的检测方法及系统有效
| 申请号： | 200910052191.5 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101900946A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 袁文勋;邹渊渊;梁国亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了零标记曝光检测方法及系统，以实现零标记曝光的检测，该方法包括：获得未进行零标记曝光的晶圆的第一零标记信号指数；对该晶圆的零标记进行曝光；获得曝光后该晶圆的第二零标记信号指数；比较第一零标记信号指数及第二零标记信号指数，得到信号指数差额作为零标记检测值；比较零标记检测值与零标记标准值，并在零标记检测值小于零标记标准值时，确定该零标记的曝光不合格。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 曝光 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种零标记曝光的检测方法，包括：获得未进行零标记曝光的晶圆的第一零标记信号指数；对该晶圆的零标记进行曝光；获得曝光后该晶圆的第二零标记信号指数；比较第一零标记信号指数及第二零标记信号指数，得到信号指数差额作为零标记检测值；比较零标记检测值与零标记标准值，并在零标记检测值小于零标记标准值时，确定该零标记的曝光不合格。
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