[发明专利]微加工超声换能器无效
| 申请号： | 200910052196.8 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101898743A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 漆斌;庄雪锋 | 申请（专利权）人： | 漆斌;庄雪锋 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00;B81C1/00;B81B7/04 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 董梅 |
| 地址： | 200433 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是关于微加工超声换能器，具体涉及弹簧嵌入式微加工超声换能器，特别是关于弹簧嵌入式电容式微加工超声换能器。一种微加工超声换能器，包括第一支撑层、第一支撑层上设置第一电极，第二支撑层、第二支撑层上设置第二电极，其中，所述第二支撑层为基片，基片上设有开口结构，分上部分和下部分，第二电极设在上部分上；所述的第一支撑层为表面薄板，在第一支撑层与第二支撑层之间通过一垂直有弹性的连接器连接且形成有间隙。因为微加工超声换能器有较好的发射和接收性能，且整个换能器表面都可以是有用的区域，从而使微加工超声换能器可以有完美的填充因数。降低了寄生电容，提高了灵敏度、击穿电压及换能器设计的灵活性，提高其可靠性和带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 超声 换能器 | ||
【主权项】：
一种微加工超声换能器，包括第一支撑层、第一支撑层上设置第一电极，第二支撑层、第二支撑层上设置第二电极，其特征在于：所述第二支撑层为基片，基片上设有开口结构，分上部分和下部分，第二电极设在上部分上；所述的第一支撑层为表面薄板，在第一支撑层与第二支撑层之间通过一垂直有弹性的连接器连接且形成有间隙。
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