[发明专利]一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用无效

专利信息
申请号: 200910052205.3 申请日: 2009-05-27
公开(公告)号: CN101567394A 公开(公告)日: 2009-10-28
发明(设计)人: 杨恒;成海涛;戴斌;吴燕红;李昕欣;王跃林 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L29/808 分类号: H01L29/808;B81B7/02;B81C1/00;H01L21/337;G01B7/02
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 潘振甦
地址: 200050*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种垂直环绕栅结型场效应晶体管、制作方法及应用。所述的场效应管包括源区、漏区、环绕栅、敏感栅、沟道以及源漏区压焊块或金属引线组成,其中源区和漏区通过沟道连接,敏感栅和环绕栅相连,环绕栅包围沟道的上、左、右三面,沟道是垂直的;沟道与环绕栅形成一个Pn结;源、漏区通过压焊块或金属引线与外电路实现电学连接。所述的场效应晶体管与敏感结构制作在SOI硅片的顶层硅上,采用微机械加工方法同时制成。通过电容耦合实现对敏感结构的位移检测。
搜索关键词: 一种 垂直 环绕 栅结型 场效应 晶体管 制作方法 应用
【主权项】:
1、一种垂直环绕栅结型场效应晶体管,其特征在于所述的场效应管包括源区、漏区、环绕栅、敏感栅、沟道以及源漏区压焊块或金属引线组成,其中,源区和漏区通过沟道连接,敏感栅和环绕栅相连,环绕栅包围沟道的上、左、右三面,沟道是垂直的;沟道与环绕栅形成一个pn结;源、漏区通过压焊块或金属引线与外电路实现电学连接。
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