[发明专利]在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法无效
| 申请号： | 200910052731.X | 申请日： | 2009-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101575730A | 公开（公告）日： | 2009-11-11 |
| 发明（设计）人： | 周圣明;林辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法，其特点在于：将钨坩埚或钼坩埚置于硬石墨毡上，再在硬石墨毡及坩埚之外卷裹多层软石墨毡，之后套于石英桶内，整体放在提拉晶体炉内的感应线圈内，置于炉膛底部的托盘上，将原料装入坩埚内，再在坩埚上方放置硬石墨毡保温罩或氧化锆保温罩，盖上硬石墨毡保温罩盖或氧化锆保温罩盖，封闭炉门，抽真空，充入保护气氛至正压后，按常规方法进行晶体生长，晶体生长结束后，在空气、氧气或其它气氛中退火。本发明的优点在于：利用石墨毡提供还原性气氛，从而可以使用廉价的钨、钼坩埚，能低成本生长蓝宝石、铝酸锂等晶体，通用性好，设备简单，非常适合规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 原性 气氛 感应 加热 生长 晶体 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在还原性气氛中感应加热提拉生长晶体的方法，其特征在于：将钨坩埚或钼坩埚置于硬石墨毡上，再在硬石墨毡及坩埚之外卷裹多层软石墨毡，之后套于石英桶内，整体放在提拉晶体炉内的感应线圈内，置于炉膛底部的托盘上，将原料装入坩埚内，再在坩埚上方放置硬石墨毡保温罩或氧化锆保温罩，盖上硬石墨毡保温罩盖或氧化锆保温罩盖，封闭炉门，抽真空，充入保护气氛至正压后，按常规方法进行晶体生长，晶体生长结束后，在空气、氧气或其它气氛中退火。
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