[发明专利]一种高占空比绝热微桥结构及其实现方法无效
| 申请号： | 200910052996.X | 申请日： | 2009-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101570311A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 程正喜;马斌;翟厚明;施永明;张学敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00;B81C5/00;G01J5/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭 英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高占空比绝热微桥结构及其实现方法，该微桥结构将桥面和桥腿从功能上分离，桥面为吸收结构，桥腿为支撑结构、导电结构和绝热结构，桥腿和桥面的重叠接触部分为敏感结构，将桥腿置于桥面下方，在不提高桥面热质量的前提下，提高器件的占空比。并给出一种有效而简便的实现方法，可以制备大规模微桥阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高占空 绝热 结构 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
1.一种红外探测器的高占空比绝热微桥结构，包括吸收层桥面(1)、功能敏感区(2)、桥腿(3)、互连柱(4)和读出电路衬底(5)五个基本部分，其特征在于：最上面一层包括两个粘连在一起的子层，最上表面的子层桥面为吸收层桥面(1)，吸收层桥面(1)下的子层为功能敏感区(2)，功能敏感区(2)面积不大于吸收层桥面(1)，功能敏感区(2)中包含功能敏感层(14)；第二层为桥腿(3)，桥腿(3)在吸收层桥面(1)的下方，其中包含电极(15)；第三层为读出电路衬底(5)。第二层的桥腿(3)与第一层的功能敏感区(2)相连，通过桥腿倾斜的部分支撑起第一层的吸收层桥面(1)和功能敏感区(2)，桥腿(3)中的电极(15)与功能敏感层(14)相连导通。第三层的读出电路衬底(5)通过互连柱(4)支撑起第二层的桥腿(3)，互连柱(4)与桥腿(3)中的电极(15)相连导通，将功能敏感层(14)的探测信号引入至读出电路。
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