[发明专利]蓝宝石衬底及抛光方法与应用有效
| 申请号： | 200910053513.8 | 申请日： | 2009-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101604666A | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 许亦琳;余明伟 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 抛光 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石衬底，其表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910053513.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导线架的内引脚具有转接焊盘的交错堆叠式芯片封装结构
- 下一篇：压紧单元
