[发明专利]具备可切换偏置频率的等离子体处理腔及可切换匹配网络无效
| 申请号： | 200910055935.9 | 申请日： | 2009-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101989525A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈金元;尹志尧 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理腔，其包括一个叠加于等离子体源频率并施加于阴极的可切换偏置频率。一个能产生多重射频偏置频率的功率源通过一个开关耦合于一个匹配网络中。所述匹配网络耦合偏置频率的其中之一于所述阴极。另一个匹配网络施加一个源射频功率于所述阴极。一个可变并联电容器和固定电容的平行连接设定于地和所述开关的输入之间，另一个可变并联电容器和固定电容的连接设定于地和所述源射频匹配网络的输入之间。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 切换 偏置 频率 等离子体 处理 匹配 网络 | ||
【主权项】：
一种射频匹配电路，所述射频匹配电路可切换地耦合两个偏置频率中的一个和一个源频率于一个阴极上，包括：一个开关，其包括一个输入、一个第一输出和一个第二输出；一个第一匹配网络，其包括耦合于所述开关的第一输出的输入和耦合于所述阴极的输出，所述第一匹配网络被调谐以在一个低于10MHz第一偏置频率下运行；一个第二匹配网络，其包括耦合于所述开关的第二输出的输入和耦合于所述阴极的输出，所述第二匹配网络被调谐以在一个高于所述第一偏置频率但低于15MHz的第二偏置频率下运行；一个第三匹配网络，其包括耦合于所述阴极的输出，所述第三匹配网络被调谐以在一个高于所述第二偏置频率的源频率下运行；以及，一个并联谐振电路，其耦合于所述第三匹配网络的输出和所述阴极之间，所述并联谐振电路被调谐以使其中心频率与所述第二偏置频率相等。
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