[发明专利]化学机械研磨方法和装置有效
| 申请号： | 200910056137.8 | 申请日： | 2009-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101987429A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 杨涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 谢安昆;宋志强 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨方法，包括：确定硅片上待研磨的材料以及各材料的研磨顺序，根据确定结果选择滚卷，所述滚卷上按研磨顺序依次设置有用于研磨不同材料的研磨垫；当对硅片进行研磨时，根据当前待研磨的材料，将滚卷中用于研磨该待研磨材料的研磨垫滚动到正对研磨头的位置，同时，研磨浆供应管输出用于研磨该待研磨材料的研磨浆；研磨头进行研磨。本发明同时公开了一种化学机械研磨装置。本发明所述方案实现起来简单方便，且具有很强的通用性/灵活性，可应用于任意研磨工艺，只需根据待研磨的材料的种类以及研磨顺序相应选择滚卷即可。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨方法，该方法包括：确定硅片上待研磨的材料以及各材料的研磨顺序；根据确定结果选择滚卷，所述滚卷上按研磨顺序依次设置有用于研磨不同材料的研磨垫；当对硅片进行研磨时，根据当前待研磨的材料，将滚卷中用于研磨该待研磨材料的研磨垫滚动到正对研磨头的位置，同时，研磨浆供应管输出用于研磨该待研磨材料的研磨浆；研磨头进行研磨。
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